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程秀蘭 上海交通大學(xué)/研究員博導(dǎo)高校職稱:博士,博導(dǎo),研究員(微電子學(xué)與固體電子學(xué)),平臺主任。從業(yè)經(jīng)歷:主要研究先進微納加工技術(shù),薄膜鈮酸鋰光電子器件,基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究,硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究,高階衍射光學(xué)元件設(shè)計與加工,CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)等。長期從事本科及研究生專業(yè)課程教學(xué)工作。先后曾在鐵道部戚墅堰機車車輛工藝研究所、上海貝嶺股份有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司(SMIC)邏輯技術(shù)發(fā)展與制造中心工作,從事技術(shù)研發(fā)工作。個人特色:曾承擔(dān)863、02專項等多個國家重大科研項目子項目的研究。 20092010年先后至美國University of Arkansas (UARK)及University of California at Berkely (UC Berkeley) 訪問研究,分別從事納米孔DNA/生物大分子檢測、片上集成納米級單生物分子檢測應(yīng)用的表面等離子體波傳感器等方面的研究。 部分課程《半導(dǎo)體物理與器件》《半導(dǎo)體器件原理》《先進微納加工技術(shù)與應(yīng)用》《集成電路制造技術(shù)》《半導(dǎo)體集成電路制造理論》《微電子材料與器件...詳細>>
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